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高純電子氣體
氫是主要的工業(yè)原料,也是最重要的工業(yè)氣體和特種氣體,在石油化工、電子工業(yè)、冶金工業(yè)、食品加工、浮法玻璃、精細有機合成、航空航天等方面有著廣泛的應用。同時,氫也是一種理想的二次能源(二次能源是指必須由一種初級能源如太陽能、煤炭等來制取的能源)
氮氣在常況下是一種無色無味無臭、無毒的氣體。氮氣占空氣含量的78%,在標準情況下的氣體密度是1.25g/L,氮氣在水中溶解度很小。氮氣在極低溫-196℃下會液化成無色液體,進一步降低溫到-210℃時,更會形成白色晶狀固體。
超純氨是微電子氮化硅掩蔽膜的主要原材料,其反應為:750—850℃:SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2,850—900℃:3SiCl4+4NH3---Si3N4+12HCl。雖然NH3在半導體制造用量不大,但在光電子領域、超純氨是十分重要的原材料
三氟化氮是一種強氧化劑。三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體,在離子蝕刻時裂解為活性氟離子,這些氟離子對硅和鎢化合物,高純三氟化氮具有優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性(對氧化硅和硅),它在蝕刻時,在蝕刻物表面不留任何殘留物,是非常良好的清洗劑,同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。
氬氣是一種無色、無味的單原子氣體,相對原子質量為39.948。一般由空氣液化后,用分餾法制取氬氣。氬氣的密度是空氣的1.4倍,是氦氣的10倍。氬氣是一種惰性氣體,在常溫下與其他物質均不起化學反應,在高溫下也不溶于液態(tài)金屬中,在焊接有色金屬時更能顯示其優(yōu)越性。可用于燈泡充氣和對不銹鋼、鎂、鋁等的電弧焊接,即“氬弧焊”。
二氧化碳(carbon dioxide),一種碳氧化合物,化學式為CO2,化學式量為44.0095[1],常溫常壓下是一種無色無味[2]或無色無嗅而其水溶液略有酸味[3]的氣體,也是一種常見的溫室氣體[4],還是空氣的組分之一(占大氣總體積的0.03%-0.04%[5])。在物理性質方面,二氧化碳的熔點為-56.6℃(527kPa),沸點為-78.5℃,密度比空氣密度大(標準條件下),溶于水。在化學性質方面,二氧化碳的化學性質不活潑,熱穩(wěn)定性很高(2000℃時僅有1.8%分解),不能燃燒,通常也不支持燃燒,屬于酸性氧化物,具有酸性氧化物的通性,因與水反應生成的是碳酸,所以是碳酸的酸酐。
氧氣(oxygen)是氧元素形成的一種單質,化學式O2,其化學性質比較活潑,與大部分的元素都能與氧氣反應。常溫下不是很活潑,與許多物質都不易作用。但在高溫下則很活潑,能與多種元素直接化合,這與氧原子的電負性僅次于氟有關。